该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成，在重合室中放置对象物品，在汽化炉中放置parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后，升高汽化炉的温度（120~180℃），使parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室，通过高温（650~700℃）分解炉后，生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触，其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合，形成高分子量的聚对二树脂膜。
parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点，可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域，因其生物兼容性和生物稳定性，还可以应用在领域。然而，需要注意的是，parylene涂覆对于材料表面的要求比较高，要求附着力好，无杂质，因此在进行涂覆前，必须对物件的表面进行一定预处理，以增加涂覆物件的附着力。
派瑞林纳米涂层与通常所使用的三防漆有很大的区别，相比之下，三防漆更不易让pcb以及元器件散热，导电性能不佳，三防漆会释放有毒有害物质，而pcb纳米潮涂层更环保，符合rohs,reach,msds等欧盟认证，其所形成的涂层肉眼不可视，散热性能很好，导电性能也不受影响。
1、派瑞林真空镀膜设备有效应用于磁性材料领域，派瑞林的制备工艺和优异性能相结合，使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀，目前国际上小型或者超小型磁材，几乎都采用派瑞林镀膜工艺作绝缘和防护涂层。
2、派瑞林真空镀膜设备有效应用于印制电路组件和元器件领域，镀膜材料通过派瑞林真空镀膜设备使得活性的对二双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成。气态的小分子能渗透到包括贴装件下面任何一个细小缝隙的基材上沉积，形成分子量约50万的高纯聚合物。
3、派瑞林真空镀膜设备有效应用于微电子集成电路领域，派瑞林的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的派瑞林涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此派瑞林（parylene）不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经派瑞林（parylene）涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
以上信息由专业从事parylene 耐温的菱威纳米于2021/10/9 23:40:38发布
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